專注于半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，提供定制化的自動(dòng)化解決方案
技術(shù)要求與難點(diǎn)
4溫區(qū)獨(dú)立控溫
18路質(zhì)量流量計(jì)控制
溫度控制要求：升降溫要穩(wěn)定，在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)達(dá)到設(shè)定溫度；溫度波動(dòng)需要<2度；恒溫控制需要在<0.5度
壓力控制要求：腔內(nèi)壓力控制精度要<1torr，需要帶有自動(dòng)保護(hù)功能。
流量計(jì)控制：具有實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)巡檢功能，流量計(jì)開啟順序可自定義設(shè)定功能。
